发明名称 |
用于轨道平顺性检测的二维锁相测量装置 |
摘要 |
本发明属于光学测量领域,涉及一种用于轨道平顺性检测的二维锁相测量装置。该装置由双频激光光源部分,参考光路部分,横向不平顺测量光路部分以及垂向不平顺测量光路部分组成。从双频激光光源部分出射的两束具有一定频差的正交线偏振光,经分束镜,一部分进入参考光路,另一部分经准直扩束及分光后,分别进入横向不平顺测量光路和垂向不平顺测量光路,两测量光路所得的测量信号分别与参考信号比相。由于两测量光路共用同一光源,外差干涉测量时采用了同一参考信号,消除了轨道的横向不平顺和垂向不平顺测量之间的系统误差,同时实现了轨道平顺性的二维测量,减小体积,降低成本。 |
申请公布号 |
CN102587232A |
申请公布日期 |
2012.07.18 |
申请号 |
CN201210063479.4 |
申请日期 |
2012.03.13 |
申请人 |
长春理工大学 |
发明人 |
贺文俊;郑阳;王加科;张磊;郑建平;王倩 |
分类号 |
E01B35/00(2006.01)I;E01B35/02(2006.01)I;E01B35/06(2006.01)I |
主分类号 |
E01B35/00(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
用于轨道平顺性检测的二维锁相测量装置,其特征在于:由双频激光光源部分,参考光路部分,横向不平顺测量光路部分以及垂向不平顺测量光路部分组成;其中横向不平顺测量光路包括平面反射镜A1(8),平面反射镜A2(9),偏振分光棱镜B(13),1/4波片B1(14),1/4波片B2(15),转台B1(16),平面反射镜B1(17),传动带B(18),50%分光棱镜B(19),转台B2(20),平面反射镜B2(21),会聚透镜组B(12),检偏器B(11),探测器B(10);垂向不平顺测量光路包括偏振分光棱镜C(30),1/4波片C1(24),1/4波片C2(26),平面反射镜C1(22),平面反射镜C2(29),转台C1(23),转台C2(28),传动带C(27),50%分光棱镜C(25),会聚透镜组C(31),检偏器C(32),探测器C(33)。 |
地址 |
130022 吉林省长春市卫星路7089号 |