一体化光学臭氧产量检测装置及标定方法和测量方法

摘要

一种一体化光学臭氧产量检测装置及标定方法和测量方法，其中的检测装置有设置在光学防震平台上的：光源；第一分束器，将光源分成两束光，其中一束光射在参考臂上，另一束光通过第一反射镜反射在样品臂上；第二反射镜；第二分束器；电荷耦合器件，设置在第二分束器的输出光路上；数据处理系统连接电荷耦合器件的输出端，用于处理接收到的数字信号；在第一分束器与第二反射镜之间的参考臂的光路上设置有固定体积的参比气室；在第一反射镜和第二分束器之间的样品臂的光路上设置有与臭氧发生器相通的样品气室，样品气室的体积随气体流速发生改变。本发明一体化实现了臭氧产量的直接测量。代替分别的臭氧浓度计和气体流量计，简化检验设备，适合完成高精度测量。

主权项

一种一体化光学臭氧产量检测装置，包括有设置在光学防震平台上的：光源(1)；第一分束器(2)，将光源(1)分成两束光，其中一束光射在参考臂上，另一束光通过第一反射镜(5)反射在样品臂上；第二反射镜(4)，接收参考臂上的光；第二分束器(7)，分别接收第二反射镜(4)的反射光和样品臂上的光；电荷耦合器件(8)，设置在第二分束器(7)的输出光路上，用于采集第二分束器(7)的干涉条纹，并将采集到的干涉条纹图样转换为可处理的数字信号；数据处理系统(9)连接电荷耦合器件(8)的输出端，用于处理接收到的数字信号；其特征在于，在所述的第一分束器(2)与第二反射镜(4)之间的参考臂的光路上设置有固定体积的参比气室(3)，所述的参比气室(3)的内部抽成真空或充满折射率已知的气体或液体；在所述的第一反射镜(5)和第二分束器(7)之间的样品臂的光路上设置有与臭氧发生器相通的样品气室(6)，所述的样品气室(6)的体积随气体流速发生改变，所述的样品气室(6)为抗臭氧材料制成的，其横截面呈矩形，所述矩形的长轴方向的前、后气室壁上对应设置有进气口(10)和出气口(11)，样品气室(6)的长轴与入射紫外光光轴垂直；所述样品气室(6)沿光轴方向的两气室壁上设置有透射紫外光的入射口(12)和与之对应的出射口(13)，所述的入射口(12)上设置有光学玻璃，所述的出射口(13)上设置有沿光轴方向移动的窗体(14)，该窗体(14)上设置有光学玻璃，所述的窗体(14)与出射口(13)处连接的部分设置有弹性装置，所述的弹性装置与出射口(13)之间呈密封连接。