包括柔性固定机构的流体输送系统

摘要

一种用于薄膜材料沉积的流体输送系统，其包括流体分配歧管和基体传输机构。流体分配歧管包括输出面，该输出面包括多个细长槽。流体分配歧管的输出面被设置成与基体的第一表面相对，以便细长槽面向基体的第一表面并且被设置成靠近基体的第一表面。基体传输机构使得基体在一个方向上移动并且包括柔性机构，该柔性机构在靠近流体分配歧管的输出面的区域中接触基体的第二表面。

主权项

一种用于薄膜材料沉积的流体输送系统，其包括：流体分配歧管，其包括输出面，该输出面包括多个细长槽，所述流体分配歧管的输出面被定位成与基体的第一表面相对，以便所述细长槽面向所述基体的所述第一表面并且被定位成靠近所述基体的所述第一表面；以及基体传输机构，其使得基体沿一方向移动，所述基体传输机构包括柔性机构，该柔性机构在靠近所述流体分配歧管的所述输出面的区域中接触所述基体的第二表面，该柔性机构还提供机械压力到所述基体的所述第二表面。