| 发明名称 | 离子源 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种新的离子源，与以往的离子源相比，尽管电极个数少，也具有与以往的离子源相同的功能。本发明的离子源(1)不具有抑制电子从下游一侧(Z方向一侧)流入的抑制电极。离子源(1)包括：多个电极(5、6、7)，沿离子束(3)的引出方向(Z方向)配置；以及磁场产生部件(11)，配置在所述电极(5、6、7)的下游一侧(Z方向一侧)，至少具有一对磁极(20、21)，该一对磁极(20、21)产生横穿从所述离子源(1)引出的所述离子束(3)的磁场。 | ||
| 申请公布号 | CN102592930A | 申请公布日期 | 2012.07.18 |
| 申请号 | CN201110340962.8 | 申请日期 | 2011.11.02 |
| 申请人 | 日新离子机器株式会社 | 发明人 | 井内裕 |
| 分类号 | H01J37/08(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人 | 周善来;李雪春 |
| 主权项 | 一种离子源，不具有抑制电子从下游一侧流入的抑制电极，所述离子源的特征在于，所述离子源包括：多个电极，沿离子束的引出方向配置；以及磁场产生部件，配置在所述电极的下游一侧，至少具有一对磁极，该一对磁极产生横穿从所述离子源引出的所述离子束的磁场。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||