基于质量流量控制器的模拟工艺系统和方法

摘要

本发明公开了一种基于质量流量控制器的模拟工艺系统和方法，包括集气罐，集气罐设有多个气体入口，每个气体入口之后分别设有质量流量控制器，质量流量控制器设有数字通信单元，数字通信单元通过串口与主控计算机连接，进行数字通讯，主控计算机可实时控制和获取MFC的流量检测数据，直接用计算机对工艺步骤进行模拟控制，选择合适的数据存入MFC的存储器中，完成对质量流量控制器的控制，这样就省去了人工的参与过程。

主权项

一种基于质量流量控制器的模拟工艺系统对工艺步骤进行模拟控制的方法，所述基于质量流量控制器的模拟工艺系统包括集气罐，所述集气罐设有多个气体入口，每个气体入口之后分别设有质量流量控制器，所述质量流量控制器分别设有数字通信单元，所述数字通信单元通过串口与主控计算机连接，其特征在于，包括步骤：首先，主控计算机通过串口通讯将各个气体入口的气体流量的设定值和控制时间数据写入质量流量控制器的芯片中；然后，主控计算机通过串口通讯向所有质量流量控制器发送启动指令，进行工艺模拟流程，并实时控制和获取质量流量控制器的流量检测数据；待全部质量流量控制器处于关闭状态后，工艺模拟完成。