发明名称 |
PUMP USING UNIMORPH VIBRATION DIAPHRAGM |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1947339(A4) |
申请公布日期 |
2012.07.18 |
申请号 |
EP20060822800 |
申请日期 |
2006.11.01 |
申请人 |
NITTO KOHKI CO., LTD. |
发明人 |
WAKABAYASHI, MASANORI;OKI, YASUMASA |
分类号 |
F04B43/04;F04B17/00;F04B43/00;F04B45/047;H01L41/09 |
主分类号 |
F04B43/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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