一种局域化发射区结构的太阳能电池及其制备方法

摘要

一种局域化发射区结构的太阳能电池及其制备方法，涉及一种太阳能电池。局域化发射区结构的太阳能电池设有衬底，在衬底表面外延本征半导体层，本征半导体层上设有凹槽，在凹槽内通过扩散或外延等方法形成半导体层，在半导体层上分别蒸镀上电极和减反膜，在衬底底部蒸镀背电极，当衬底为p型半导体层时，半导体层为n型半导体层；当衬底为n型半导体层时，半导体层为p型半导体层。将衬底生长本征半导体层；在样品热生长或沉积一层遮挡层；在样品上表面刻出图形，去除遮挡层，刻出凹槽；在凹槽内形成半导体层，去除遮挡层形成发射区；沉积上电极，剥离；在样品上表面刻出上电极的反图形后沉积减反膜，剥离；在样品背面沉积背电极。

主权项

一种局域化发射区结构的太阳能电池，其特征在于设有衬底，在衬底表面外延本征半导体层(i层)，所述本征半导体层(i层)上设有凹槽，在凹槽内通过扩散或外延等方法形成半导体层，在半导体层上分别蒸镀上电极和减反膜，在衬底底部蒸镀背电极，当所述衬底为p型半导体层时，所述半导体层为n型半导体层；当所述衬底为n型半导体层时，所述半导体层为p型半导体层。