| 发明名称 | 基于玻璃基离子交换掩埋光波导的集成光学芯片及制法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种基于玻璃基离子交换掩埋光波导的集成光学芯片及制法，该集成光学芯片主要由玻璃衬底和离子交换掩埋光波导组成；所述的离子交换掩埋光波导位于玻璃衬底内部，与玻璃衬底上表面的距离为0～7500μm。制法包括以下步骤：镀膜、光刻、腐蚀、去胶、一次交换、二次交换、划片、研磨抛光。与现有技术相比，本发明可减小芯片的偏振依赖性以及消除芯片的内部应力，具有寿命长、稳定可靠等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN102590941A | 申请公布日期 | 2012.07.18 |
| 申请号 | CN201210098358.3 | 申请日期 | 2012.04.05 |
| 申请人 | 上海光芯集成光学股份有限公司 | 发明人 | 郑伟伟;王毅强;王明华;杨建义;郝寅雷;商惠琴 |
| 分类号 | G02B6/122(2006.01)I;G02B6/125(2006.01)I;G02B6/138(2006.01)I | 主分类号 | G02B6/122(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人 | 蒋亮珠 |
| 主权项 | 一种基于玻璃基离子交换掩埋光波导的集成光学芯片，其特征在于，该集成光学芯片主要由玻璃衬底和离子交换掩埋光波导组成；所述的离子交换掩埋光波导位于玻璃衬底内部，与玻璃衬底上表面的距离为0～7500μm。 | ||
| 地址 | 200072 上海市闸北区广中西路777弄14号102室 | ||