发明名称 |
基于AlN埋绝缘层的机械致单轴应变GeOI晶圆的制作方法 |
摘要 |
本发明公开了一种基于AlN埋绝缘层的机械致单轴应变GeOI晶圆的制作方法,包括以下步骤:1)GeOI晶圆顶层Ge层面向上或向下放置在弧形弯曲台上;2)两根圆柱形不锈钢压杆分别水平放置在GeOI晶圆两端,距GeOI晶圆边缘1cm;3)缓慢旋动连接压杆的螺帽,使GeOI晶圆沿弧形台面逐渐弯曲,直至GeOI晶圆完全与弧形台面贴合;4)载有GeOI晶圆的弧形弯曲台放置在退火炉中进行退火;5)退火结束后缓慢降温至室温,取出载有GeOI晶圆片的弧形弯曲台;6)旋动连接压杆的螺帽,将压杆缓慢提升,直至弯曲的GeOI晶圆回复原状。本发明具有如下优点:1)应变度高;2)热性能优良;3)成品率高;4)退火温度范围大;5)制作工艺简单;6)制作设备少且可自制。 |
申请公布号 |
CN102593039A |
申请公布日期 |
2012.07.18 |
申请号 |
CN201110361523.5 |
申请日期 |
2011.11.16 |
申请人 |
西安电子科技大学 |
发明人 |
戴显英;郑若川;郭静静;王宗伟;朱正国;李金龙;田茂源;郝跃;张鹤鸣 |
分类号 |
H01L21/762(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/762(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种基于AlN埋绝缘层的机械致单轴应变GeOI晶圆的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:1)GeOI晶圆顶层Ge层面向上或向下放置在弧形弯曲台上;2)两根圆柱形不锈钢压杆分别水平放置在GeOI晶圆两端,距GeOI晶圆边缘1cm;3)缓慢旋动连接压杆的螺帽,使GeOI晶圆沿弧形台面逐渐弯曲,直至GeOI晶圆完全与弧形台面贴合;4)载有GeOI晶圆的弧形弯曲台放置在退火炉中进行退火,退火温度在300℃至900℃范围内可任意选择;5)退火结束后缓慢降温至室温,取出载有GeOI晶圆片的弧形弯曲台;6)旋动连接压杆的螺帽,将压杆缓慢提升,直至弯曲的GeOI晶圆回复原状。 |
地址 |
710071 陕西省西安市太白南路2号 |