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经营范围
发明名称
Apparatus for producing polycrystalline silicon
摘要
申请公布号
EP2138459(B1)
申请公布日期
2012.07.18
申请号
EP20090163297
申请日期
2009.06.19
申请人
MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION
发明人
ENDOH, TOSHIHIDE;TEBAKARI, MASAYUKI;ISHII, TOSHIYUKI;SAKAGUCHI, MASAAKI
分类号
C01B33/035
主分类号
C01B33/035
代理机构
代理人
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