一种多晶硅泊松比在线测试结构

摘要

本发明公开了一种多晶硅泊松比在线测试结构，包括绝缘衬底、非对称的多晶硅梁、第一多晶硅下极板和第二多晶硅下极板，并通过静电力驱动的方式使非对称的多晶硅梁发生偏转，从而根据几何关系和材料力学原理获得多晶硅材料的泊松比参数。本发明通过激励电压所产生的静电力使测试结构发生转动，通过结构设计使最大扭转角成为已知量，并根据测试结构达到最大扭转角时的激励电压测量值，以及已知的结构几何参数和物理参数计算得到多晶硅材料的泊松比，因而测试设备要求低，且测试方法简单，测试过程及测试参数值稳定。多晶硅加工制备过程与后续微机电器件（MEMS）的制造同步进行时，没有特殊加工要求，完全符合在线测试的要求。

主权项

一种多晶硅泊松比在线测试结构，其特征在于：包括绝缘衬底（1）、非对称的多晶硅十字梁（2）、第一多晶硅下极板（3）和第二多晶硅下极板（4），其中，所述多晶硅十字梁（2）包括水平梁（5），第一扭转梁（6）、第二扭转梁（7）、第一锚区（8）和第二锚区（9），并采用一体设计，所述第一扭转梁（6）和第二扭转梁（7）设在水平梁（5）两侧，其中第一扭转梁（6）的长度和宽度均大于第二扭转梁（7），所述第一锚区（8）和第二锚区（9）分别连接在第一扭转梁（6）和第二扭转梁（7）的端部，该第一锚区（8）和第二锚区（9）固定在所述绝缘衬底（1）上，且第一锚区（8）上表面设有金属电极（10），所述水平梁（5）、第一扭转梁（6）和第二扭转梁（7）与绝缘衬底（1）存在间隙，处于悬空状态；所述水平梁（5）被第一扭转梁（6）和第二扭转梁（7）分为两个梁臂，所述第一多晶硅下极板（3）和第二多晶硅下极板（4）均设在同一侧梁臂下方的绝缘衬底（1）上；所述第一多晶硅下极板（3）设在所述梁臂中部下方对应的绝缘衬底（1）上，且与该梁臂之间存在间隙，该第一多晶硅下极板（3）也设有金属电极（10）；所述第二多晶硅下极板（4）设在所述悬臂端部下方对应的绝缘衬底（1）上，且与该梁臂之间存在间隙，该第二多晶硅下极板（4）也设有金属电极（10）。