一种具有自关闭单向阀的单层双腔真空驱动的蠕动泵

摘要

一种具有自关闭单向阀的单层双腔真空驱动的蠕动泵，所有结构均布置在同一结构层之中。结构层的上表面包括一个贯通该层的液体输入接口、一个贯通该层的液体输出接口和一个贯通该层的负压气路接口，在结构层下表面的中心区域有一条将液体流入接口和液体流出接口连接起来的流路通道，以及嵌入在所述流路通道末端的一个可自动关闭的单向阀，在流路通道的侧边沿其长度方向布置有至少两个负压气体驱动腔室。本发明以气体通道流阻结构产生顺序抽吸动作实现蠕动动作，避免因为高压气体挤压流道损坏泵送样品，并利用真空负压将微流路通道中的气泡抽吸出流路防止流路阻塞，同时利用内嵌于微流道中的自关闭单向阀获得较高的背压（反向压力）。

主权项

一种具有自关闭单向阀的单层双腔真空驱动的蠕动泵，其特征在于：所述蠕动泵的所有结构均布置在同一结构层之中；其中，在所述结构层的上表面包括一个贯通该层的液体输入接口、一个贯通该层的液体输出接口和一个贯通该层的负压气路接口；所述结构层通过下表面与一基底结合，在所述结构层下表面的中心区域有一条将液体流入接口和液体流出接口连接起来的流路通道，以及嵌入在所述流路通道末端的一个可自动关闭的单向阀，用于实现流路通道的顺序打开与关闭，进而允许流体在流路中的单向流动；在所述流路通道的侧边沿其长度方向布置有至少两个负压气体驱动腔室，负压气体驱动腔室之间通过气路通道进行连接，其中靠近液体流入接口的负压气体驱动腔室通过气路通道连接负压气路接口；所述负压驱动腔室与流路通道之间的隔离墙结构构成可变形驱动薄膜，该驱动薄膜在负压气体的作用下发生变形，进而改变流路通道的容积，驱动液体流进和流出微型泵。