提高晶圆清洁度的清洗方法及清洗甩干设备

摘要

本发明提供一种能够提高晶圆清洁度的清洗甩干方法，包括以下步骤：提供一清洗台，将晶圆水平放置于所述清洗台上；将清洗喷头设置于所述晶圆的圆心上方，所述清洗喷头的出液方向倾斜于所述晶圆的垂线方向；晶圆启动水平自转，所述清洗喷头启动水平移动；开始清洗过程，所述清洗喷头喷出清洗液至晶圆表面，所述清洗喷头水平移动至偏离所述晶圆圆心的位置停止；结束清洗，所述清洗喷头停止供应清洗液，所述晶圆继续水平自转，以甩干所述晶圆。本发明还提供了一种清洗甩干设备。本发明能够极大地提高晶圆清洁度，减少液体杂质及颗粒杂质的残留问题，对设备的改进简单易行，成本低廉，在提高晶圆产品的性能、成品率和可靠性的同时节约了工艺成本。

主权项

一种能够提高晶圆清洁度的清洗甩干方法，包括：提供一清洗台，将晶圆水平放置于所述清洗台上；将清洗喷头设置于所述晶圆的圆心上方，所述清洗喷头的出液方向倾斜于所述晶圆的垂线方向；晶圆启动水平自转，所述清洗喷头启动水平移动；开始清洗过程，所述清洗喷头喷出清洗液至晶圆表面，所述清洗喷头水平移动至偏离所述晶圆圆心的位置停止；结束清洗，所述清洗喷头停止供应清洗液，所述晶圆继续水平自转，以甩干所述晶圆。