光波导基板及其制造方法

摘要

通过如下的光波导基板的制造方法和利用该制造方法得到的光波导基板，从而提供极高精度地进行了光波导基板的光轴转换镜与光收发光元件的位置对准的光波导基板及其制造方法，所述光波导基板的制造方法的特征在于：其为具备芯（12）和包层（11）、（13），该芯上具有光轴转换镜（14），且具有该光轴转换镜与光收发光元件的位置对准用凹部的光波导基板的制造方法，至少将使显微镜（20）的焦点与光轴转换镜部上的芯的最高位置（14a）对准而得到的图像和使显微镜的焦点与最低位置（14d）对准而得到的图像合成而得到芯的轮廓，由该轮廓的重心位置确定位置对准用凹部的位置，从而得到该凹部。

主权项

一种光波导基板的制造方法，其特征在于，其为具备芯和包层、该芯上具有光轴转换镜、且具有该光轴转换镜与光收发光元件的位置对准用凹部的光波导基板的制造方法，至少将使显微镜的焦点与光轴转换镜部上的芯的最高位置对准而得到的图像和使显微镜的焦点与最低位置对准而得到的图像合成而得到芯的轮廓，由该轮廓的重心位置确定位置对准用凹部的位置，从而得到该凹部。