发明名称 含硅涂料组合物及其使用方法
摘要 本发明公开了涂料组合物,其包含其中R<sub>1</sub>为含硅结构部分,R<sub>2</sub>为酸稳定的内酯官能团,且R<sub>3</sub>为酸不稳定的内酯官能团;X<sub>1</sub>、X<sub>2</sub>、X<sub>3</sub>独立地为H或CH<sub>3</sub>;和m和o为非零正整数且n为零或正整数(表示重复单元数)的聚合物(I)、光酸产生剂和溶剂。本发明还公开了在含有相同组分的涂料组合物中形成图案的方法。<img file="dda0000159864250000011.GIF" wi="1122" he="443" />
申请公布号 CN102597138A 申请公布日期 2012.07.18
申请号 CN201080049821.4 申请日期 2010.09.14
申请人 国际商业机器公司 发明人 R·苏里亚库马兰;R·D·艾伦;P·J·布洛克;S·A·斯万松;H·特鲁昂;K-J·陈;W-S·黄;A·弗里兹
分类号 C09D143/04(2006.01)I;G03F7/075(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I 主分类号 C09D143/04(2006.01)I
代理机构 北京市中咨律师事务所 11247 代理人 张蓉珺;林柏楠
主权项 1.一种涂料组合物,其包含含有如下结构的聚合物、光酸产生剂和溶剂:<img file="FDA0000159864220000011.GIF" wi="1076" he="437" />其中R<sub>1</sub>为含硅结构部分,R<sub>2</sub>为酸稳定的内酯官能团,且R<sub>3</sub>为酸不稳定的内酯官能团;X<sub>1</sub>、X<sub>2</sub>、X<sub>3</sub>独立地为H或CH<sub>3</sub>;和m和o为非零正整数且n为零或正整数,其表示重复单元数。
地址 美国纽约