发明名称 |
含硅涂料组合物及其使用方法 |
摘要 |
本发明公开了涂料组合物,其包含其中R<sub>1</sub>为含硅结构部分,R<sub>2</sub>为酸稳定的内酯官能团,且R<sub>3</sub>为酸不稳定的内酯官能团;X<sub>1</sub>、X<sub>2</sub>、X<sub>3</sub>独立地为H或CH<sub>3</sub>;和m和o为非零正整数且n为零或正整数(表示重复单元数)的聚合物(I)、光酸产生剂和溶剂。本发明还公开了在含有相同组分的涂料组合物中形成图案的方法。<img file="dda0000159864250000011.GIF" wi="1122" he="443" /> |
申请公布号 |
CN102597138A |
申请公布日期 |
2012.07.18 |
申请号 |
CN201080049821.4 |
申请日期 |
2010.09.14 |
申请人 |
国际商业机器公司 |
发明人 |
R·苏里亚库马兰;R·D·艾伦;P·J·布洛克;S·A·斯万松;H·特鲁昂;K-J·陈;W-S·黄;A·弗里兹 |
分类号 |
C09D143/04(2006.01)I;G03F7/075(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I |
主分类号 |
C09D143/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京市中咨律师事务所 11247 |
代理人 |
张蓉珺;林柏楠 |
主权项 |
1.一种涂料组合物,其包含含有如下结构的聚合物、光酸产生剂和溶剂:<img file="FDA0000159864220000011.GIF" wi="1076" he="437" />其中R<sub>1</sub>为含硅结构部分,R<sub>2</sub>为酸稳定的内酯官能团,且R<sub>3</sub>为酸不稳定的内酯官能团;X<sub>1</sub>、X<sub>2</sub>、X<sub>3</sub>独立地为H或CH<sub>3</sub>;和m和o为非零正整数且n为零或正整数,其表示重复单元数。 |
地址 |
美国纽约 |