聚对二甲苯卧式沉积系统新腔室滚筒复合结构

摘要

本实用新型公开了一种聚对二甲苯卧式沉积系统新腔室滚筒复合结构，包括真空腔室、滚筒、滚筋、进气口和出气管，其特征在于：在滚筒外壁上设置有四个滚筋，四个滚筋形成两道环形滚筋，分别位于滚筒高度的1/4处和3/4处，在真空腔室上开设有真空测量口，位于1/4滚筋靠进气管一侧上，在真空腔室上设置有出气口，与出气管相连接，位于3/4滚筋远离进气管一侧。本实用新型解决了现有技术中滚筋尺寸精度和圆度较低，原料气的利用率不高，沉积设备内部压力测量值不真实的问题，提供了一种结构简单，能够保证滚筋的尺寸精度和圆度，提升原料利用率，提高测量的真实度和控制精度的聚对二甲苯卧式沉积系统新腔室滚筒结构。

主权项

一种聚对二甲苯卧式沉积系统新腔室滚筒复合结构，包括真空腔室、滚筒、滚筋、进气管和出气管，在真空腔室内设置有滚筒，其特征在于：在滚筒外壁上设置有四个滚筋，四个滚筋形成两道环形滚筋，分别位于滚筒高度的1/4处和3/4处，在真空腔室上开设有真空测量口，所述真空测量口位于1/4滚筋靠进气管一侧上，在真空腔室上设置有出气口，所述出气口与出气管相连接，所述出气口位于位于3/4滚筋远离进气管一侧，所述进气管穿过真空腔室伸入滚筒内。