用于透射电子显微镜和加热元件的微反应器及其制造方法

摘要

一种用在显微镜中的微反应器，包括第一和第二覆盖层(13)，这两个覆盖层对于电子显微镜的电子束(14)来说至少是部分透明的，并且彼此延伸一段共有距离，在该二者之间围成腔室(15)，并且其中，设置有用于穿过腔室馈送流体的入口(4)和出口(5)，并且其中，设置有加热装置(8)，用于加热腔室和/或其中提供的元件。

主权项

一种在电子显微镜中使用的微反应器，包括覆盖层，该覆盖层的至少一个部分对于电子显微镜的电子束是透明的，其中，加热元件被容纳在所述覆盖层中，其中所述至少一个透明部分至少在所述加热元件的加热部件之间部分地延伸。