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发明名称 Method for calibrating a pyrometer, method for determining the temperature of a semiconducting wafer and system for determining the temperature of a semiconducting wafer
摘要
申请公布号 EP2365307(B1) 申请公布日期 2012.07.18
申请号 EP20110165143 申请日期 2009.09.17
申请人 LAYTEC AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 UREDAT, STEFFEN;ZETTLER, JOERG-THOMAS;ZILIAN, JENS;SCHENK, TOBIAS;HENNINGER, BERND;BINETTI, MARCELLO;HABERLAND, KOLJA
分类号 G01J5/00;G01J5/08;G01J5/52 主分类号 G01J5/00
代理机构 代理人
主权项
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