蒸发装置及蒸发涂料的方法

摘要

本发明涉及一种用于蒸发涂料的装置，该装置作为沉积设备的一部分布置在真空室内，涂料为了蒸发而布置在坩埚内。本发明的目的是提供蒸发装置或用于蒸发涂料的方法，从而缩短停工期以及延长清洗和维护的间隔，其中涂料使用在连续的热真空沉积过程中。所述目的的达到是通过提供带有蒸发室的蒸发装置，其中蒸发室通过真空阀与加料室相连，该加料室当包括能够充满涂料的坩埚的蒸发器布置在蒸发室中时能够被抽空。所述蒸发器通过第一蒸汽停止阀在蒸汽排放端，即朝向真空室的末端与蒸汽室相连。

主权项

一种用于蒸发涂料的蒸发装置，该装置作为沉积装置一部分布置在真空室内，其中用于蒸发的涂料布置在可填充的坩埚内，其特征在于，蒸发装置(1)具有蒸发室(2)，所述蒸发室通过真空阀(9)与可抽空的加料室(8)相连，其中蒸发器(3)设置在蒸发室(2)内，所述蒸发器容纳用涂料(5)填充的坩埚(6)，并且所述蒸发器通过第一蒸汽关闭阀(4)在蒸汽排放端、即朝向蒸汽沉积室的末端与蒸汽沉积室相连。