基片架磁定位系统

摘要

一种基片架磁定位系统，它包括真空箱体以及位于箱体内部的传动机构、磁悬浮定位机构、中心加热器、两溅射靶和多组基片架，的中心加热器安装在真空箱体的中部，中心加热器与两溅射靶之间的传动轨迹上安装多组基片架，各组基片架的底部安装在传动机构上，各组基片架的顶部安装磁悬浮定位机构。本发明由于通过磁场的相互吸引达到定位的目的，基片架在运行过程中与定位系统无机械接触，无摩擦，不产生污染，使用寿命长，不需要过多维护，通过该系统的安装，基片架运行稳定性得以提高，不再有碎片掉片现象，对产品的产质量都有大幅度提高。

主权项

一种基片架磁定位系统，其特征是它包括真空箱体（1）以及位于箱体内部的传动机构、磁悬浮定位机构（3）、中心加热器（4）、两溅射靶（5）和多组基片架（6），所述的中心加热器（4）安装在真空箱体（1）的中部，两溅射靶（5）分别安装在真空箱体（1）的两侧壁上，中心加热器（4）与两溅射靶（5）之间的传动轨迹上安装多组基片架（6），各组基片架（6）的底部安装在传动机构上，各组基片架（6）的顶部安装磁悬浮定位机构（3），所述的磁悬浮定位机构（3）包括成对设置的多组磁铁，按照基片架（6）的运行轨迹在真空箱体（1）的顶部按同一极性排布多个磁铁，在对应基片架（6）的顶部按照与前述磁铁极性相反的排布多个磁铁。