直列式成膜装置、磁记录介质的制造方法以及闸阀

摘要

本发明提供能够一边抑制伴随着闸阀的开闭动作的振动的产生一边高速进行该闸阀的开闭动作的直列式成膜装置。在这样的直列式成膜装置中，在缸(115)内的活塞(114)就要到达一个方向的端部之前，通过将第2开闭阀(117a)完全关闭而仅通过第2流量调整阀(117b)排气，另一方面，在缸(115)内的活塞(114)就要到达另一个方向的端部之前，通过将第1开闭阀(116a)完全关闭而仅通过第1流量调整阀(116b)排气。由此，能够缓和由缸(115)的端部与活塞(114)的接触引起的冲击，抑制振动的产生。

主权项

一种直列式成膜装置，其特征在于，具备：进行成膜处理的多个腔室；载体，其在所述多个腔室内保持作为成膜对象的基板；输送机构，其在所述多个腔室之间依次输送所述载体；和闸阀，其设置于所述多个腔室之间，对所述载体所通过的通路进行开闭；所述闸阀具有：设有形成所述通路的开口部的一对分隔壁；在所述一对分隔壁之间被移动操作的阀体；和在将所述开口部封闭的位置与将所述开口部开放的位置之间驱动所述阀体的驱动机构；所述驱动机构是气缸机构，具有：连接于所述阀体的活塞；配置有所述活塞的缸；连接于所述缸内的第1空间的第1阀机构；和连接于所述缸内的第2空间的第2阀机构；一边经由所述第1阀机构向所述第1空间供给空气，一边经由所述第2阀机构从所述第2空间排出空气，由此向所述阀体将所述开口部封闭的一个方向按压所述缸内的活塞而使其移动；另一方面，一边经由所述第2阀机构向所述第2空间供给空气，一边经由所述第1阀机构从所述第1空间排出空气，由此向所述阀体将所述开口部开放的另一个方向按压所述缸内的活塞而使其移动；所述气缸机构在所述缸内的活塞就要到达所述一个方向的端部之前，通过所述第2阀机构对从所述第2空间排出的空气的流量进行节流；另一方面，在所述缸内的活塞就要到达所述另一个方向的端部之前，通过所述第1阀机构对从所述第1空间排出的空气的流量进行节流。