外力检测装置和外力检测传感器

摘要

本发明提供一种能够高精度且容易地检测施加于压电片的外力的外力检测装置。在容器(1)内用悬臂支承晶体片(2)。在晶体片(2)的例如部，在上表面和下表面分别形成激励电极(31、41)。在晶体片(2)的下表面侧的前端部形成经由引出电极(42)与下表面侧的激励电极(41)连接的可动电极(5)，在容器(1)的底部与该可动电极(5)相对地设置有固定电极(6)。将上表面侧的激励电极(31)和固定电极(6)与振荡电路(14)连接。当对晶体片(2)施加外力而弯曲时，可动电极(5)与固定电极(6)之间的电容发生变化，将该电容变化作为晶体片的振荡频率的变化而掌握。

主权项

一种外力检测装置，其检测作用于压电片的外力，该外力检测装置的特征在于，包括：悬臂式的压电片，其一端侧被支承于基座；为了使该压电片振动而分别设置于该压电片的一面侧和另一面侧的一个激励电极和另一个激励电极；与一个激励电极电连接的振荡电路；可变电容形成用的可动电极，其在所述压电片中设置于从所述一端侧离开的部位，与所述另一个激励电极电连接；固定电极，其与所述压电片隔开间隔，设置成与所述可动电极相对并且与所述振荡电路连接，因压电片弯曲而使与所述可动电极之间的电容发生变化，由此形成可变电容；和频率信息检测部，其用于检测作为与所述振荡电路的振荡频率对应的频率信息的信号，其中形成从所述振荡电路经由一个激励电极、另一个激励电极、可动电极和固定电极返回振荡电路的振荡环，由所述频率信息检测部检测出的频率信息，是用于评价作用于压电片的力的信息。