介质隔离的压力传感器

摘要

本发明公开了一种介质隔离的压力传感器，有助于提高性能和降低成本。在一个说明性实施例中，压力传感器可包括具有在其中限定的一个或多个孔的托架。所述托架可与隔膜在一侧相耦合，并与压力感测管芯在另一侧相耦合，与所述压力感测管芯与所述托架中的所述孔流质连通。所述托架、隔膜和压力感测管芯可形成传导流质空腔，其被压力传导流质所填满。来自要被感测的介质的输出压力可被提供至隔膜，其经由压力传导流质传导压力至压力感测管芯。所述压力感测管芯与要被感测的介质保持隔离。

主权项

一种压力传感器（10），包括：外壳（12），限定了流质通道（14），其中所述流质通道（14）具有第一端（16）和第二端（19）；隔膜（22），具有第一侧（21）和第二侧（23），所述隔膜(22)的所述第一侧（21）接近所述外壳（12）的所述流质通道（14）的所述第二端（19）而被安装；托架（26），具有第一侧（32）和第二侧（34），以及在所述托架（26）的所述第一侧（32）和所述第二侧（34）之间延伸的第一开口（28），所述托架（26）的所述第一侧（32）接近所述隔膜（22）的所述第二侧（34）而被安装；压力感测管芯（44），接近所述托架（26）的所述第二侧（34）而被安装，所述压力感测管芯（44）包括与所述托架（26）的所述第一开口（28）流质连通的压力感测隔膜（46）；传导流质空腔（38），至少部分地由所述隔膜（22）的所述第二侧（23）、所述托架（26）的所述第一侧（32）和所述压力感测管芯（44）的所述压力感测隔膜（46）所形成；以及压力传导流质（24），布置于所述传导流质空腔（38）内。