具有门闭锁和衬底夹紧机构的衬底托架

摘要

第一方面，提供一种自动开门器，包括(1)适合于支撑衬底托架的平台；(2)适合于在衬底托架由平台支撑时开启衬底托架的门的开门机构；及(3)管道。管道适于从清洁室壁上的开口延伸到平台且至少部分地围绕平台。管道进一步适于将来自于清洁室壁的气流导向平台并导出管道。提供了许多其它方面。

主权项

一种自动开门器，包括：一平台，其适于支撑衬底托架；一托架开启机构，其包含一驱动机构，该驱动机构适于当所述衬底托架由所述平台支撑并移动远离清洁室壁上的入口或朝向清洁室壁上的入口移动时，随着所述衬底托架脱离或对接而释放或阻止所述衬底托架上的闭锁部件，从而允许所述衬底托架的门被所述托架开启机构引导至关闭位置或打开位置；及一管道，其适于：从清洁室壁上的入口向所述平台延伸，且至少部分地围绕该平台支撑的衬底托架；并且，将气流从所述清洁室壁引导到该平台并导出所述管道。