| 发明名称 | 去除沉积物的方法 | ||
| 摘要 | 一种用于从固态本体的表面去除一种硅氢化物的方法，该方法包括用一种气体处理该硅氢化物，该气体包括分子氟或从分子氟产生的活性物质。 | ||
| 申请公布号 | CN102597309A | 申请公布日期 | 2012.07.18 |
| 申请号 | CN201080049351.1 | 申请日期 | 2010.10.28 |
| 申请人 | 苏威氟有限公司 | 发明人 | 马尔塞洛·里瓦;斯特凡·姆罗斯 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I;C23G5/00(2006.01)I;B08B7/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 顾晋伟;王春伟 |
| 主权项 | 一种用于从固态本体的表面去除硅氢化物的方法，该方法包括用气体处理该硅氢化物，该气体包括分子氟或从分子氟产生的活性物质。 | ||
| 地址 | 德国汉诺威 | ||