硅器件以及硅器件的制造方法

摘要

本发明提供硅器件以及硅器件的制造方法。在俯视观察时具有多边形的外形形状的板状的硅器件，其特征在于，上述多边形的角部的至少一个形成为包括：构成上述多边形的多个边中的、位于相互邻接的位置的两个边；以及与两个上述边分别相接并连接上述边的角部曲线部。

主权项

一种硅器件，其特征在于，所述硅器件为在俯视观察时具有多边形的外形形状的平板状，所述多边形的角部的至少一个形成为包括：构成所述多边形的多个边中的、位于相互邻接的位置的两个边；以及与两个所述边分别相接并连接所述边的角部曲线部。