用于晶片载体减震的系统及方法

摘要

本发明的一个方面提供了用于控制具有晶片载体和驱动部分的晶片清洗系统的系统和方法。该晶片载体可沿第一方向和第二方向的路径移动。该驱动部分能沿所述第一个方向和第二个方向可控地移动所述晶片载体。该控制系统包括振动传感器部分和晶片载体位置控制器。该振动传感器部分可检测该晶片载体的振动，并可以根据所检测到的振动输出振动信号。该晶片载体位置控制器可基于该振动信号指示该驱动部分修正该晶片载体的运动以减少该检测到的振动。

主权项

与具有晶片载体和驱动部分的晶片清洗系统一起使用的控制系统，该晶片载体能沿第一方向和第二方向的路径移动，该驱动部分能沿所述第一方向和所述第二方向可控地移动所述晶片载体，该控制系统包括：振动传感器部分，其能检测该晶片载体的振动，并能根据所检测到的振动输出振动信号；和晶片载体位置控制器，其能基于该振动信号指示该驱动部分修正该晶片载体的运动以减少该检测到的振动。