基于油溶性纳米颗粒墨水的导电薄膜图案层制备方法

摘要

本发明公开了一种基于油溶性纳米颗粒墨水的导电薄膜图案层制备方法，包括有包括以下步骤：（1）图案化基材制备；（2）将油溶性金属纳米颗粒墨水通过界面自组装方式，将金属纳米颗粒均分填充在图案化基材上的图案区中形成导电薄膜图案层，所述的油溶性纳米颗粒墨水包括有金属纳米颗粒和油溶性有机溶剂；（3）预热处理；（4）清洗多余光刻胶；（5）热处理。本发明基于油溶性金属纳米颗粒墨水，采用界面自组装法制备的金属颗粒薄膜有更优的厚度可控性、更致密，且克服了金属纳米墨水中的有机溶剂与光刻胶互溶的难点。

主权项

一种基于油溶性纳米颗粒墨水的导电薄膜图案层制备方法，其特征在于包括以下步骤：（1)在基材表面设置光刻胶层，利用光刻或电子束光刻技术在光刻胶层上镂空加工出图案区，获得图案化基材；（2)将油溶性金属纳米颗粒墨水通过界面自组装方式，将金属纳米颗粒均分填充在图案化基材上的图案区中形成导电薄膜图案层，所述的油溶性纳米颗粒墨水包括有金属纳米颗粒和油溶性有机溶剂；（3)将经步骤（2）获得半成品在80±5℃下预热处理，预热处理持续时间为5±3分钟；（4)去除多余光刻胶；（5)将经步骤（4）获得的半成品在150±5℃下热处理，热处理持续时间为10±3分钟，在基材上加工出导电薄膜图案层。