平面移动靶机构

摘要

一种平面移动靶机构，它包括框架、往返传动机构、两直线导轨机构、极靴、永磁铁和位于真空箱体内的阴极和靶材，所述的往返传动机构安装在框架的中部，两直线导轨机构分别安装在框架的上下部分，两直线导轨机构上分别装有至少一个滑块，极靴安装在往返传动机构的中部，极靴的上、下两端分别固定在两直线导轨机构的滑块上，永磁铁安装在极靴上，在永磁铁上方的真空箱体底部安装阴极，靶材安装在阴极的上方。本发明通过磁场的移动使得放电区内电子跑到扩展，靶材利用可提高到40%-45%。起到节能降本的效果。

主权项

一种平面移动靶机构，其特征是它包括框架（1）、往返传动机构（2）、两直线导轨机构（3）、极靴（4）、永磁铁（5）和位于真空箱体（9）内的阴极（6）和靶材（8），所述的往返传动机构（2）安装在框架（1）的中部，两直线导轨机构（3）分别安装在框架（1）的上下部分，两直线导轨机构（3）上分别装有至少一个滑块（10），极靴（4）安装在往返传动机构（2）的中部，极靴（4）的上、下两端分别固定在两直线导轨机构（3）的滑块（10）上，永磁铁（5）安装在极靴（4）上，在永磁铁（5）上方的真空箱体（9）底部安装阴极（6），靶材（8）安装在阴极（6）的上方。