可调纳米光栅及纳米光栅加速度计及其加工方法

摘要

本发明公开了一种可调纳米光栅及纳米光栅加速度计及其加工方法。可调纳米光栅包括可动子光栅和固定子光栅，采用聚焦离子束/扫描电镜双束系统加工，精度高，周期一致性好。可动子光栅和固定子光栅的多个单光栅上下交叉排列，梁连接有质量块。纳米光栅加速度计包括激光光源、加速度计芯片、光电探测装置，加速度计芯片包括可调纳米光栅。以可调纳米光栅作为传感部分的中心元件，且与质量块和梁共同组成传感头，光源照射可调纳米光栅，利用光电探测器和检测电路进行信号加速度检测，计算时以矢量衍射理论为基础，结构简单、灵敏度高。

主权项

一种可调纳米光栅，其特征在于，包括可动子光栅和固定子光栅，所述可动子光栅和固定子光栅分别包括多个单光栅；所述可动子光栅的多个单光栅沿着水平轴均匀间隔布置，并固定在梁上；所述固定子光栅的多个单光栅沿着水平轴均匀间隔布置，并固定在基座上；所述可动子光栅和固定子光栅的多个单光栅上下交叉排列，构成多个隙缝；所述梁为活动梁，所述活动梁连接有质量块。