一种用于化学机械磨削Al₂O₃陶瓷的磨具及其制备方法

摘要

本发明属于硬脆材料超精密加工技术领域，公开了一种用于Al2O3陶瓷化学机械磨削的用磨具及其制备方法。其特征是采用能与Al2O3陶瓷发生固相化学反应的二氧化硅软磨料作为磨具的主要磨料，加入适量的金刚石磨料作为辅助磨料制成磨具，解决了目前软磨料砂轮磨损严重和加工效率低的问题。在100℃左右的温度条件下，借助化学和机械复合作用即可实现Al2O3陶瓷表面材料的化学机械去除。此外，还通过添加适量的碳酸氢钠、氧化钙、高锰酸钾等添加剂以提高磨具的磨削性能。本发明的效果和益处是所制备的化学机械磨削用磨具具有磨削效率高、磨损小、磨削表面质量好等优点，能够在正常的磨削条件下实现Al2O3陶瓷超精密低损伤磨削。

主权项

一种用于化学机械磨削Al2O3陶瓷的磨具，其特征在于它包括软磨料、金刚石磨料、结合剂、添加剂、气孔，各原料所占体积百分比为：软磨料：35～50％；金刚石磨料：5～20％；结合剂：20～35％；添加剂：5～15％；气孔：0～5％；各原料体积百分比之和为100％；所述的软磨料以及金刚石磨料纯度为99％～100％；粒度分布为2μm～5μm；所述的软磨料为二氧化硅磨料；所述的结合剂为939P酚醛树脂；所述的添加剂为碳酸氢钠、氧化钙、高锰酸钾中的任意一种或者两种以上的混合，任意两种以上混合时，为任意配比。