发明名称 |
用于图案化的磁盘媒体应用的等离子体离子注入工艺 |
摘要 |
提供在基板上的磁敏感表面上形成包括磁畴及非磁性磁畴的图案的工艺与设备。在一个实施例中,一种在设置于基板上的磁敏感材料上形成多个磁畴的图案的方法包括:暴露磁敏感层的第一部分至由气体混合物形成的等离子体历时一段足够的时间,以将经由遮蔽层暴露的所述磁敏感层的所述第一部分的磁性从第一状态修改成第二状态,其中所述气体混合物至少包括含卤素气体及含氢气体。 |
申请公布号 |
CN102598131A |
申请公布日期 |
2012.07.18 |
申请号 |
CN201080049969.8 |
申请日期 |
2010.11.03 |
申请人 |
应用材料公司 |
发明人 |
马丁·A·希尔金;马修·D·斯科特奈伊-卡斯尔;罗曼·古科;史蒂文·维哈维伯克 |
分类号 |
G11B5/84(2006.01)I;G11B5/82(2006.01)I |
主分类号 |
G11B5/84(2006.01)I |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 |
代理人 |
徐金国;钟强 |
主权项 |
一种在设置于基板上的磁敏感材料上形成磁畴的图案的方法,包含:暴露磁敏感层的第一部分至由气体混合物形成的等离子体历时一段足够长的时间,以将所述磁敏感层的经由遮蔽层暴露的所述第一部分的磁性从第一状态修改成第二状态,其中所述气体混合物至少包括含卤素气体和含氢气体。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |