发明名称 |
利用可控脉冲激光加工纳米结构的方法及装置 |
摘要 |
本发明公开了一种利用可控脉冲激光加工纳米结构的方法及装置,将脉冲激光头发出的脉冲激光通过PLE激光透镜射入真空腔内,使脉冲激光会聚在真空腔体内的样品表面,对样品进行加工;同时用光纤探头在线探测产生的等离子体辉光中电子光谱的变化,通过改变加工气氛来以控制等离子体波的振荡频率,调控脉冲激光在样品上刻蚀出各种发光的纳米结构。本发明利用脉冲激光等离子体刻蚀技术,用光纤探头探测其等离子体辉光在不同气氛中变化,通过改变加工气氛来获得对发光工作物质进行可控的激活操作;本发明可通过切换光路来实现PLE和PLD的复合加工,制备各种半导体的发光纳米结构,特别是含量子点的超晶格发光结构。 |
申请公布号 |
CN102583228A |
申请公布日期 |
2012.07.18 |
申请号 |
CN201210065434.0 |
申请日期 |
2012.03.14 |
申请人 |
贵州大学 |
发明人 |
黄伟其 |
分类号 |
B81C1/00(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I;B23K26/36(2006.01)I;B23K26/12(2006.01)I |
主分类号 |
B81C1/00(2006.01)I |
代理机构 |
贵阳中新专利商标事务所 52100 |
代理人 |
李亮;程新敏 |
主权项 |
一种利用可控脉冲激光加工纳米结构的方法,其特征在于:将脉冲激光头发出的脉冲激光通过PLE激光透镜射入真空腔内,使脉冲激光会聚在真空腔内的样品表面,对样品进行加工;同时用光纤探头在线探测产生的等离子体辉光中电子光谱的变化,通过改变加工气氛控制等离子体波的震荡频率,从而实现可控脉冲激光在样品上刻蚀各种纳米结构。 |
地址 |
550025 贵州省贵阳市花溪区贵州大学北校区科学技术处 |