表面形状的评价方法和表面形状的评价装置

摘要

本发明涉及一种表面形状的评价方法和表面形状的评价装置。表面形状的评价方法具备以下步骤：向被评价物体的第一表面照射具有周期性亮暗的图案，接收经上述第一表面反射的图案的光来得到受光图案，将受光图像中的与照射到上述第一表面的图案中的亮暗周期相对应的区域的亮暗信号平均化，以检测受光图像中的亮暗周期相对于照射到上述第一表面的图案中的亮暗周期的偏离，根据平均化后的信号评价上述第一表面的表面形状，在该表面形状的评价方法中，向上述第一表面照射的上述图案的光的波长是200nm～380nm。

主权项

一种表面形状的评价方法，包括以下步骤：向被评价物体的第一表面照射具有周期性亮暗的图案，接收经上述第一表面反射的图案来获得受光图像，将受光图像中的与照射到上述第一表面的图案中的亮暗周期相对应的区域的亮暗信号平均化，以检测受光图像中的亮暗周期相对于照射到上述第一表面的图案中的亮暗周期的偏离，根据平均化后的信号评价上述第一表面的表面形状，在该表面形状的评价方法中，向上述第一表面照射的上述图案的光的波长是200nm～380nm。