多晶硅生产装置

摘要

本发明提供的多晶硅生产装置，包括：底盘；钟罩，设置在所述底盘之上，与底盘形成反应器；所述钟罩上设有尾气出口；所述钟罩外部设置夹套，所述夹套上设置夹套冷却油入口与夹套冷却油出口；所述反应器内部设置内件，所述内件包含中间接管和夹套管，夹套管内设置多晶硅棒；所述中间接管底部设置工艺气体入口、反应器冷却油入口与反应器冷却油出口。利用本发明生产多晶硅，可以有效降低反应器内无定形硅的生长，减少装置的污染，提高多晶硅的转化率与纯度。

主权项

多晶硅生产装置，其特征在于，包括：底盘；钟罩，设置在所述底盘之上，与底盘形成反应器；所述钟罩上设有尾气出口；所述钟罩外部设置夹套，所述夹套上设置夹套冷却油入口与夹套冷却油出口；所述反应器内部设置内件，所述内件包含中间接管和夹套管，夹套管内设置多晶硅棒；所述中间接管底部设置工艺气体入口、反应器冷却油入口与反应器冷却油出口；所述中间接管下部通过下部连接管和夹套管相连，所述中间接管上部通过上部连接管和夹套管相连；所述夹套管包括夹套管内管和夹套管外管；所述中间接管设有出气孔，所述夹套管内管设有进气孔，所述出气孔与进气孔对应连接；工艺气体由所述工艺气体入口进入中间接管，通过中间接管上的出气孔与夹套管内管上的进气孔进入夹套管内管；冷却油通过反应器冷却油入口进入中间接管，通过下部连接管进入第一夹套管，由第一夹套管底部流到第一夹套管顶部，并通过上部连接管进入中间接管顶部，然后通过上部连接管进入第二夹套管，从第二夹套管顶部流到第二夹套管底部，通过下部连接管进入中间接管底部，通过反应器冷却油出口流出。