| 发明名称 | 一种用于检测表面被手指印污染的半导体晶片的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及半导体领域或光伏领域的一种用于检测表面被手指印污染的半导体晶片的方法，特别是一种用于检测表面被手指印污染的半导体晶片的方法，其特征在于：采用蒸汽喷至半导体晶片表面，半导体晶片表面肉眼不可见的手指印即可用人工肉眼辨别出来，完成检测步骤。本发明成功实现了对半导体晶片表面上肉眼不可见的手指印的检测，且本发明的技术方案简单且易实施，成本低，非常有利于在生产中推广使用。 | ||
| 申请公布号 | CN101599447B | 申请公布日期 | 2012.07.18 |
| 申请号 | CN200910115742.8 | 申请日期 | 2009.07.23 |
| 申请人 | 江西赛维LDK太阳能高科技有限公司 | 发明人 | 李建敏;中野研吾;杜嘉斌;宋建平 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;G01N30/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 江西省专利事务所 36100 | 代理人 | 杨志宇 |
| 主权项 | 一种用于检测表面被手指印污染的半导体晶片的方法，其特征在于：将蒸汽喷至半导体晶片表面，被手指印污染的半导体晶片表面与未被手指印污染的半导体晶片表面显示出不同的印记，通过目测或机器识别半导体晶片表面的印记；所述的蒸汽的温度为120℃；所述的蒸汽的压力为60bar；所述的蒸汽的流量为8克/分钟。 | ||
| 地址 | 338000 江西省新余市高新经济开发区赛维工业园技术中心专利工作办公室 | ||