钻石晶圆抛光机

摘要

本实用新型公开了一种钻石晶圆抛光机，包括支架，磨盘，主轴机构，以及主轴机构的动力系统和磨盘的动力系统，每个主轴机构独立固定在支架上侧，且每个主轴机构有独立的动力系统；每个主轴的动力系统包括电机和减速机，电机与减速机传动连接，减速机输出轴上安装的主动齿轮与主轴上固定的从动齿轮匹配啮合。本实用新型将主轴机构设置为彼此独立工作的方式，可以根据需要控制不同的主轴机构的转速、旋转方向和旋转时间，以及可以单独调节每个主轴机构的加力程度，解决了不同钻石晶圆实施不同加工程度的问题，其结构简单，使用效果好，容易生产制造或改造，容易操作控制，非常利于推广实施。

主权项

一种钻石晶圆抛光机，包括支架，磨盘，主轴机构，以及主轴机构的动力系统和磨盘的动力系统，其特征是：每个主轴机构独立固定在支架上侧，且每个主轴机构有独立的动力系统；每个主轴的动力系统包括电机和减速机，电机与减速机传动连接，减速机输出轴上安装的主动齿轮与主轴上固定的从动齿轮匹配啮合。