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发明名称 Aminosilanes for shallow trench isolation films
摘要
申请公布号 EP2144279(A3) 申请公布日期 2012.07.18
申请号 EP20090165101 申请日期 2009.07.09
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 WEIGEL, SCOTT JEFFREY;O'NEILL, MARK LEONARD;HAN, BING;CHENG, HANSONG;XIAO, MANCHAO;LEE, CHIA-CHIEN
分类号 H01L21/312;C23C18/12;C23C18/14;H01L21/316 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
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