摘要 |
<p>La présente invention a pour objet un dispositif de purge une boîte de transport ayant une ouverture d'entrée/sortie obturable par une porte de boîte et contenant des plaquettes de substrat superposées selon des plans parallèles. Le dispositif de purge comprend un volume limité par une paroi étanche divisé en au moins une partie supérieure munie d'un orifice d'entrée de gaz de purge et en une partie inférieure munie d'un de sortie de gaz de purge, les deux parties étant séparées par une cloison étanche, et une pluralité de guides définissant des ouvertures disposées dans des plans parallèles à ceux des plaquettes et communiquant avec le volume du dispositif de purge pour diriger le gaz de purge vers le boîte de transport.
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