等离子显示屏保护膜耐溅射性测试方法及其装置

摘要

本发明的等离子显示屏保护膜耐溅射性测试方法及其装置，其特征是在镀有一定厚度的保护膜(2)的玻璃基片(1)上覆盖具有特定形状的金属掩膜(4)，将玻璃基片(1)放入射频溅射镀膜机(3)中的靶(6)位置上以高频溅射一定时间后，测量被金属掩膜(4)遮挡的区域和未遮挡区域的保护膜(2)厚度差，可以计算出溅射速率，从而得出保护膜耐溅射性评估方法。本发明可以高效、准确的测试等离子显示屏保护膜的耐溅射性能，并且测试原理与等离子屏的工作原理较近似，结果可信度高。

主权项

一种等离子显示屏保护膜耐溅射性测试方法，其特征是它包括以下步骤：a.在玻璃基片(1)上镀制保护膜(2)；b.在镀有保护膜(2)的玻璃基片(1)上贴敷特定形状的金属掩膜(4)，保护膜(2)的一部分被贴敷的金属掩膜(4)覆盖，另一部分没有被贴敷的金属掩膜(4)覆盖，将贴敷有金属掩膜(4)的玻璃基片(1)放在射频溅射镀膜机(3)的靶(6)位置上；c.打开射频溅射镀膜机(3)的节流阀(10)引入工作气体；d.打开射频溅射镀膜机(3)开始放电，工作气体受激发产生工作气体离子(8)对贴敷有金属掩膜(4)的玻璃基片(1)进行高频离子溅射；e.溅射一段时间后，将去除金属掩膜(4)的玻璃基片(1)放到表面形貌测定仪上测量被金属掩膜(4)覆盖部分和未被金属掩膜(4)覆盖的保护膜(2)的厚度差；f.用厚度差除以溅射时间，得到保护膜的溅射率，从而完成保护膜耐溅射性的测试。