| 发明名称 |
Antireflective coating compositions |
| 摘要 |
Antireflective coating compositions and related polymers are disclosed. |
| 申请公布号 |
US8221965(B2) |
申请公布日期 |
2012.07.17 |
| 申请号 |
US20080133562 |
申请日期 |
2008.07.08 |
| 申请人 |
YAO HUIRONG;XIANG ZHONG;SHAN JIANHUI;MULLEN SALEM;WU HENGPENG;AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. |
发明人 |
YAO HUIRONG;XIANG ZHONG;SHAN JIANHUI;MULLEN SALEM;WU HENGPENG |
| 分类号 |
G03F1/58;C08G69/00;G03F7/20 |
主分类号 |
G03F1/58 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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