Fremgangsmate for a redusere deponeringen av silisium pa reaktorvegger ved benyttelse av perifert silisiumtetraklorid

摘要

Fluidisert seng reaktorsystemer og distributører er beskrevet i tillegg til fremgangsmåter for produksjon av polykrystallinsk silisium fra en termisk nedbrytbar silisiumforbindelse slik som triklorsilan. Fremgangsmåtene involverer generelt reduksjon av silisiumdeponeringer på reaktorvegger under produksjon av polykrystallinsk silisium ved anvendelse av et silisiumtetrahalid.