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经营范围
发明名称
retainer ring structure for chemical-mechanical polishing machine and manufacturing mathod thereof
摘要
申请公布号
KR101166208(B1)
申请公布日期
2012.07.16
申请号
KR20100079927
申请日期
2010.08.18
申请人
发明人
分类号
H01L21/304;B24B37/04
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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