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Ein Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Elements, in dem eine dünne ferroelektrische Schicht durch Plasmaätzen in eine geeignete Form verarbeitet wird, wird bereitgestellt. Eine aus einer dünnen Metallschicht gefertigte Metallmaske, die schwer durch Sauerstoffgas zu ätzen ist, wird auf einem Objekt, das verarbeitet werden soll, platziert, indem eine untere Elektrodenschicht und eine dünne ferroelektrische Schicht in dieser Reihenfolge auf das Substrat laminiert werden. Ein Ätzgas, das ein Mischgas aus dem Sauerstoffgas und dem reaktiven Gas einschließlich Fluor in einer chemischen Struktur enthält, wird in Plasma verwandelt und wird mit der Metallmaske und dem Objekt, das verarbeitet werden soll, in Kontakt gebracht. Eine Wechselspannung wird an eine Elektrode angelegt, die unterhalb des Objekts, das verarbeitet werden soll, angeordnet ist, so dass bewirkt wird, dass Ionen in dem Plasma in das Objekt eintreten, um verarbeitet zu werden, um anisotropes Ätzen auf der dünnen ferroelektrischen Schicht durchzuführen. Dies erlaubt verlängertes Ätzen, und Ätzprodukte haften nicht an der geätzten Seitenfläche; und somit kann das piezoelektrische Element mit einer geeignet geformten dünnen ferroelektrischen Schicht erhalten werden.
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