Magnetronanordnung mit einem Hohltarget

摘要

Magnetronanordnung, umfassend ein Hohltarget (1) und ein in dem Hohltarget (1) angeordnetes Magnetsystem mit einem Magnetträger (3) und einer an dem Magnetträger (3) angebrachten Magnetanordnung (2), wobei der Magnetträger (3) mindestens zwei Magnetträgerelemente (31) umfasst, die jeweils mindestens einen Hohlraum (32) und an der Außenseite jeweils mindestens eine Kontaktfläche (34) aufweisen, die mindestens zwei Magnetträgerelemente (31) sich mit ihren Kontaktflächen (34) berühren und fest miteinander verbunden sind und die Hohlräume (32) der Magnetträgerelemente (31) keine Verbindung zueinander aufweisen.