Verfahren und Einrichtung zur rastermikroskopischen Abbildung eines Objektes

摘要

Beschrieben sind ein Verfahren und eine Einrichtung zur rastermikroskopischen Abbildung eines Objektes (28). Es ist vorgesehen, eine Vielzahl von Objektpunkten mittels eines Abtaststrahls (14) in aufeinanderfolgenden Abtastzeitintervallen abzutasten, die Intensität der von dem jeweils abgetasteten Objektpunkt abgegebenen Strahlung innerhalb des zugehörigen Abtastintervalls mehrmals zu erfassen, einen Intensitätsmittelwert aus den in dem jeweils abgetasteten Objektpunkt erfassten Intensitäten als Mittelwert-Bildpunktsignal zu bestimmen, und die Mittelwert-Bildpunktsignale zu einem Mittelwert-Rasterbild zusammenzusetzen. Ferner ist vorgesehen, aus den in dem jeweils abgetasteten Objektpunkten erfassten Intensitäten zusätzlich einen Intensitätsvarianzwert als Varianz-Bildpunktsignal zu bestimmen und die Varianz-Bildpunktsignale zu einem Varianz-Rasterbildsignal zusammenzusetzen.