| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft eine Siliziumoxidentfernungsvorrichtung zum Entfernen von Siliziumoxid, das in einem Edelgas enthalten ist, welches von einer Siliziumeinkristall-Herstellungsvorrichtung abgeführt wird, zumindest umfassend: ein Kontaktmittel, um das Edelgas, das von der Siliziumeinkristall-Herstellungsvorrichtung abgeführt wird, mit einer stark alkalischen Lösung in Kontakt zu bringen; und ein Neutralisierungsmittel zum Neutralisieren eines alkalischen Materials, das in dem Edelgas enthalten ist, welches mit der stark alkalischen Lösung in Kontakt gebracht wird. Als Ergebnis wird eine Siliziumoxidentfernungsvorrichtung und eine Anlage zum Rückgewinnen eines Edelgases zur Verwendung in einer Siliziumeinkristall-Herstellungsvorrichtung zur Verfügung gestellt, die das Siliziumoxid, das in dem Edelgas enthalten ist, welches von der Siliziumeinkristall-Herstellungsvorrichtung abgeführt wird, wirksamer mit niedrigen Kosten entfernen und das Rückgewinnen des Edelgases, bei dem das Siliziumoxid wirksam entfernt wurde, ermöglichen kann.</p> |
