晶片取样装置

摘要

一种晶片取样装置，用以容置一晶片并于晶片上取出数个用于量测该晶片径向氧含量变化率的测试片。所述晶片取样装置包括一定位单元及一取样件。上述定位单元包含一治具及一基座，治具设置于基座，且治具与基座包围形成有一用以置放晶片的容置空间。上述治具形成有数个贯孔，而基座形成有数个分别对应于该些贯孔的开孔，且所述开孔与贯孔皆连通于容置空间。所述取样件包含一适于穿过贯孔的作用部，且作用部的长度大于任一贯孔的孔深。藉此，作用部用以穿过贯孔并冲击晶片，以使晶片被冲击的部位形成测试片并落入开孔。