具备测量组件之搬运系统

摘要

[结构]在与液晶显示器的基板的卡匣几乎同尺寸的测量组件(2)，设置：喷雾发生部(8)及喷雾放出配管(10)、雷射光源(12)、高速照像机(14)，依据被雷射光照射的喷雾的动向，测量出清净空气流的方向及流速的分布。且由粒子感测器(16)求得粒子的大小及数量，由加速度感测器(18)测量组件(2)的振动。由塔式起重机让测量组件(2)出入棚架(22)，测量棚架中的保管时的清净环境，并测量搬运中的振动。;[效果]可以自动测量棚架中的清净空气的流速分布或粒子的大小及数量。