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发明名称
薄膜电晶体阵列面板及其制造方法
摘要
本发明系提供一种制造一薄膜电晶体阵列面板的方法,其包含:将一闸极线形成于一基材上;将一第一绝缘层与一半导体层依序沈积于该闸极线上;将一导电性层沈积于该半导体层上;光蚀刻该导电性层与该半导体层;沈积一第二绝缘层;光蚀刻该第二绝缘层,以将该导电性层之第一与第二部曝露出来;将一像素电极形成于该导电性层之该第一部上;去除该导电性层之该第二部,以将该半导体层之一部分曝露出来;以及将一光阻挡构件形成于该半导体层之经曝露的部分上,该光阻挡构件具有一将该像素电极曝露出来之开口。
申请公布号
TWI368326
申请公布日期
2012.07.11
申请号
TW093137931
申请日期
2004.12.08
申请人
三星电子股份有限公司 南韩
发明人
金希骏
分类号
H01L29/786
主分类号
H01L29/786
代理机构
代理人
恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项
地址
南韩
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